精密電子廠無(wú)塵室有一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)之分，在精密電子廠凈化裝修設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進(jìn)行無(wú)塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動(dòng)力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資。同時(shí)還需要合理進(jìn)行人流路線、物料運(yùn)輸和倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無(wú)塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求。此外還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動(dòng)化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣?dòng)化水平，在經(jīng)濟(jì)、實(shí)用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。
精密電子廠房無(wú)塵車間工程設(shè)計(jì)：
電子類產(chǎn)品更新?lián)Q代速度較快；以TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)為代表的平板顯示器正在取代彩色顯像管顯示器；計(jì)算機(jī)、通信、消費(fèi)電子和汽車電子產(chǎn)品的迅速普及使得各種半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此電子工廠無(wú)塵廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要。從無(wú)塵廠房的規(guī)劃開(kāi)始，對(duì)于電子工廠無(wú)塵廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。電子無(wú)塵廠房形式一般有隧道式、開(kāi)放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無(wú)塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開(kāi)放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對(duì)較低。
精密電子無(wú)塵車間根據(jù)不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于三十萬(wàn)級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器；空氣潔凈度百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)及十萬(wàn)級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效三級(jí)過(guò)濾器；中效或高效空氣過(guò)濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
精密電子無(wú)塵車間環(huán)境參數(shù)：
溫濕度要求：，相對(duì)濕度為55+5%。
新風(fēng)量大：由于這類凈化無(wú)塵車間內(nèi)人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*大值：非單向流凈化無(wú)塵室車間總送風(fēng)量的10-30%，補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
送風(fēng)量大：為了滿足精密電子無(wú)塵凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，例如300平方米的車間，吊頂高度為2.5米，如果是千級(jí)凈化無(wú)塵車間，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h)。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
換氣次數(shù)：百級(jí)：斷面風(fēng)速0.3-0.5m/s，千級(jí)潔凈車間50－52次/小時(shí)；萬(wàn)級(jí)凈化車間15－25次/小時(shí)；十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間10－15次/小時(shí)。
壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；溫度一般為23+2℃
相對(duì)濕度：45－65％（RH）。
噪聲≤65dB（A）。
新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％。
照度：≥300Lux。
